近日，PG娛樂(lè)國(guó)際股份有限公司（簡(jiǎn)稱“PG娛樂(lè)國(guó)際”，股票代碼688120）自主研發(fā)的12英寸晶圓邊緣修整裝備Versatile-DT300實(shí)現(xiàn)批量出貨，發(fā)往國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)，已獲得市場(chǎng)認(rèn)可。
邊緣修整裝備在堆疊工藝中通過(guò)對(duì)晶圓邊緣的加工，有效降低減薄、鍍膜等工藝前后產(chǎn)生的邊緣崩邊與破裂風(fēng)險(xiǎn)，從而提高芯片生產(chǎn)良率。PG娛樂(lè)國(guó)際的Versatile-DT300具備卓越的工藝性能和穩(wěn)定的量產(chǎn)能力。該裝備靈活兼容全自動(dòng)雙軸切割、一次對(duì)位多次進(jìn)給切割、角度切割等多種復(fù)雜工藝，滿足不同客戶的晶圓加工需求，可實(shí)現(xiàn)微米級(jí)精度的切寬與切深控制，并展現(xiàn)出優(yōu)異的清洗性能，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)的技術(shù)水平。目前，PG娛樂(lè)國(guó)際邊緣修整裝備已為十余家客戶完成大批量樣品加工，并獲得多個(gè)復(fù)購(gòu)訂單與深度合作意向。
隨著3D IC與先進(jìn)封裝技術(shù)的迅猛發(fā)展，晶圓多層堆疊工藝的應(yīng)用日益廣泛。為提升產(chǎn)品良率，在堆疊工藝實(shí)施前后均需對(duì)晶圓邊緣進(jìn)行處理，且該環(huán)節(jié)的加工要求不斷提高。晶圓邊緣修整已成為高帶寬存儲(chǔ)器（HBM）、硅通孔（TSV）、背照式傳感器（BSI）及微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）等先進(jìn)工藝與制造中不可或缺的環(huán)節(jié)，相應(yīng)裝備市場(chǎng)需求顯著增長(zhǎng)。PG娛樂(lè)國(guó)際邊緣修整裝備憑借其高度靈活的工藝適應(yīng)性和持續(xù)迭代升級(jí)的能力，很好地契合了市場(chǎng)對(duì)更精細(xì)、多樣化加工需求的發(fā)展趨勢(shì)。
本次Versatile-DT300的批量出貨，標(biāo)志著PG娛樂(lè)國(guó)際針對(duì)3D IC切、磨、拋等成套解決方案再次實(shí)現(xiàn)突破，不僅印證了公司在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力，也彰顯出國(guó)產(chǎn)裝備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中不斷提升的競(jìng)爭(zhēng)力。未來(lái)，PG娛樂(lè)國(guó)際將繼續(xù)堅(jiān)持“客戶導(dǎo)向 創(chuàng)新驅(qū)動(dòng) 質(zhì)量超越”的核心價(jià)值觀，不斷深化“裝備+服務(wù)”平臺(tái)化發(fā)展戰(zhàn)略，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控與高質(zhì)量發(fā)展持續(xù)貢獻(xiàn)力量。