Universal-300 X 是根據(jù)當前高端市場需求開發(fā)的先進12英寸CMP裝備。該設(shè)備運用了PG娛樂國際具有自主知識產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，配備性能優(yōu)越的拋光單元及清洗單元，集成多種先進終點檢測技術(shù)，高效穩(wěn)定、工藝組合靈活，可實現(xiàn)晶圓納米級全局平坦化，滿足先進制程技術(shù)需求，已在集成電路、先進封裝、大硅片等制造工藝中批量應(yīng)用。
8個獨立氣壓分區(qū)的拋光頭
集成多種終點檢測技術(shù)
A&B側(cè)完全獨立設(shè)計，一機兩用，效率翻倍
先進的豎直清洗技術(shù)
滿足先進制程的技術(shù)需求，獲得大批量應(yīng)用