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Universal-150 Smart

Universal-150 Smart 是根據當前市場需求開發的成熟6英寸CMP裝設備。該裝備擁有自主知識產權的創新技術，配備性能優越的拋光單元及清洗單元，兼容6/8英寸晶圓，適用于多種材質，可實現晶圓表面的超高平整度，工藝搭配靈活、產出率高，滿足成熟制程技術需求，已在第三代半導體、MEMS等制造工藝中批量應用。


多分區拋光頭

兼容6/8英寸晶圓

工藝搭配靈活、產出率高

滿足成熟制程技術需求

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