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Universal-200

Universal-200是根據當前市場需求開發的成熟8英寸CMP裝備。該裝備擁有自主知識產權的創新技術，配備性能優越的拋光單元，兼容4/6/8/英寸晶圓，適用于多種材質，可實現晶圓表面的超高平整度，滿足成熟制程技術需求，廣泛應用于硅片、第三代半導體、MEMS等制造工藝。


多分區拋光頭

兼容4/6/8英寸晶圓

占地面積小、性價比高

滿足成熟制程技術需求

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