HSDS系列研磨液供應(yīng)系統(tǒng)采用客制化、？榛杓，配置靈活，具有實時、高精度在線配比系統(tǒng)，可實現(xiàn)濃度、流量、壓力等參數(shù)閉環(huán)控制，滿足半導(dǎo)體制造過程中濕法工藝裝備的研磨液等供應(yīng)需求，操作維護便捷，具有高可靠性、安全性和低維護保養(yǎng)成本，配置靈活等優(yōu)點。
實時、高精度在線配比系統(tǒng)
各項參數(shù)閉環(huán)控制
高可靠性、安全性和低維護保養(yǎng)成本
配置靈活
