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Universal-200 W

Universal-200 W 是針對快速增長的新興市場需求開發的成熟CMP裝備。該裝備擁有自主知識產權的創新技術，配備性能優越的拋光單元，兼容4/6/8英寸晶圓，適用于多種材質，產品干進濕出。該設備占地面積小、產出效率高，可實現晶圓表面的超高平整度，滿足成熟制程技術需求，已在第三代半導體、MEMS等制造工藝中批量應用。

多分區拋光頭

兼容4/6/8英寸晶圓

產品干進濕出

滿足成熟制程技術需求

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