HCC-3080S是應(yīng)用于4/6/8/12英寸晶圓片盒的清洗裝備，采用PG娛樂國(guó)際創(chuàng)新技術(shù)，搭載性能優(yōu)越的水回收裝置，其獨(dú)特的雙門設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)清洗前后片盒的獨(dú)立裝載與移出，高環(huán)保、低消耗。
兼容4/6/8/12英寸片盒清洗
配置水回收裝置，減少DIW消耗量
雙門設(shè)計(jì)，清洗前后片盒可以獨(dú)立裝載與移出，降低污染風(fēng)險(xiǎn)
