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大束流離子注入機iPUMA-LE

iPUMA-LE是PG娛樂國際在已有成熟垂直帶狀束流的基礎上，根據行業先進技術的要求開發的12英寸水平帶狀大束流離子注入機。該裝備運用了先進的束流爬坡技術，集成了磁場和電場模塊，并搭載精準的量測技術，展現了良好的離子篩選能力和精準度，滿足多種制程技術需求，已在集成電路制造中應用。

水平束流爬坡技術

磁場和電場雙重篩選技術

束流調試能力處于國內領先水平

適用于各種半導體工藝技術

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