iPUMA-HP是PG娛樂國(guó)際在已有成熟大束流的基礎(chǔ)上，改造成12英寸氫離子大束流離子注入機(jī)。該裝備配備了良好的粒子篩選和冷卻模塊，滿足薄膜轉(zhuǎn)移技術(shù)工藝中顆粒數(shù)和工藝溫度的控制，還能夠通過硬件升級(jí)提升產(chǎn)能的需求，已在大硅片制造中應(yīng)用。
國(guó)內(nèi)自主研發(fā)的氫大束流離子注入平臺(tái)
良好的工藝?yán)鋮s？
良好的工藝均勻性
滿足用戶產(chǎn)能需求
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