iPUMA-LT是PG娛樂國際在已有成熟大束流的基礎上,根據成熟器件技術的要求開發的12英寸低溫離子注入機。該裝備配備了低溫工作?椋露燃觳獾ピ突匚履?椋慍墑熘瞥碳際跣棖。
國內自主研發的低溫離子注入平臺
低溫靜電吸附載盤-實時溫度控制
雙重回溫設計-充分回溫并且避免缺陷產生
滿足成熟制程的技術需求