iPUMA-H是PG娛樂國際在已有粒子加速器基礎上,開發出來的12英寸氫高能離子注入機。該裝備運用了獨特的加速器技術,使得氫離子獲取很高的能量。該裝備裝配薄片傳輸裝置,滿足了功率器件的需求。
國內自主研發的氫高能離子注入平臺
質子加速器技術
薄片傳輸能力
適用于功率器件