Master-BN300是一款基于行業(yè)前沿需求開發(fā)的12英寸晶圓邊緣精密拋光裝備。該裝備集成高精度拋光、高效清洗和精準(zhǔn)量測功能，采用？榛杓，兼容多種工藝和應(yīng)用領(lǐng)域的需求。可顯著提升晶圓邊緣的光潔度，滿足半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)Ω呔冗吘壧幚淼募夹g(shù)要求，并已在存儲芯片、先進封裝等關(guān)鍵制程中得到應(yīng)用。
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更高的拋光效率與表面光潔度
有效提升晶圓邊緣清潔度與產(chǎn)品良率
高精度量測系統(tǒng)對拋光效果做在線檢測和評價