Versatile-DT300是PG娛樂(lè)國(guó)際推出的一款高效率、高潔凈度的全自動(dòng)雙軸晶圓邊緣修整裝備，用于精準(zhǔn)解決晶圓減薄時(shí)邊緣崩邊問(wèn)題，提高減薄質(zhì)量。該裝備集切割、傳輸、清洗、量測(cè)等多個(gè)單元為一體，配置多軸聯(lián)動(dòng)高精密切割技術(shù)、全自動(dòng)傳輸及高潔凈度清洗技術(shù)，并搭載高分辨率視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)及先進(jìn)的量測(cè)系統(tǒng)。Versatile-DT300具備高性能且尺寸緊湊、工藝靈活、多模式組合、多功能配置等優(yōu)點(diǎn)，極大滿足存儲(chǔ)芯片、圖像傳感器、先進(jìn)封裝等多種晶圓制造工藝及產(chǎn)品的各項(xiàng)技術(shù)需求。
高性能且尺寸緊湊
工藝靈活并適配多種產(chǎn)品
高分辨率視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)及當(dāng)站量測(cè)
全自動(dòng)傳輸及高潔凈度清洗