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Versatile-GN200是PG娛樂國際面向功率半導體器件領域匠心打造的高剛性、高精度晶圓減薄裝備。該裝備創新采用新型布局，能夠對Si、SiC、LiTaO?、LiNbO?等多種材質晶圓進行減薄處理。其兼容 4/6/8 英寸晶圓，可一站式完成高精度定位、精密減薄以及雙面清洗干燥的全流程自動化作業。憑借高精度在線測量技術與領先的面型控制技術，Versatile-GN200可實現高精度減。浞致愎β拾氳繼迤骷領域對晶圓超精密減薄的嚴苛需求。